集成電路無塵車間是為滿足半導(dǎo)體制造工藝需求而設(shè)計(jì)的潔凈室。無塵車間對環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動(dòng)、ESD、AMC控制等都有一定的要求。與其他工業(yè)潔凈室相比，集成電路制造無塵車間具有面積大、潔凈度等級(jí)高的特點(diǎn)，溫濕度控制精度高。根據(jù)潔凈室車間的空氣循環(huán)特點(diǎn)，潔凈室可分為三種類型：循環(huán)空調(diào)結(jié)合**送風(fēng)通風(fēng)系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)結(jié)合濕密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。**種形式廣泛應(yīng)用于小型、級(jí)別要求不高的潔凈室車間的設(shè)計(jì)。對于大面積、**別潔凈廠房來說，存在運(yùn)行成本高、占用空間過多等缺點(diǎn)。第二種設(shè)計(jì)形式可以滿足集成電路制造無塵車間大面積、高水平的要求，但運(yùn)行成本較高，且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量難以調(diào)節(jié)，且系統(tǒng)升級(jí)修改困難，操作靈活性很低。第三種FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省操作空間、潔凈度和安全性高、運(yùn)行成本低，而且操作靈活性高。系統(tǒng)可隨時(shí)升級(jí)、調(diào)整，不影響生產(chǎn)。所有這些都可以非常好。為滿足半導(dǎo)體制造的需求，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為半導(dǎo)體制造行業(yè)最重要的凈化設(shè)計(jì)解決方案。FFU循環(huán)系統(tǒng)的特點(diǎn)是：整個(gè)潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成。FFU提供空氣流通的動(dòng)力。新鮮空氣與循環(huán)空氣混合，通過超**過濾器送至工藝流程。層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層呈負(fù)壓。另外，還有集成電路制造廠設(shè)備區(qū)的生產(chǎn)輔助區(qū)，包括電源、氣體及化學(xué)品供應(yīng)、超純水供應(yīng)等。集成電路制造對無塵車間環(huán)境的控制要求相對嚴(yán)格。不同的工藝對潔凈度的要求不同。例如，光刻需要1級(jí)微環(huán)境，而化學(xué)機(jī)械拋光只需要1000級(jí)環(huán)境。另外，集成電路制造潔凈廠房對于噪聲、微振動(dòng)、照度等都有相關(guān)的規(guī)定和要求，特別是振動(dòng)控制，這在潔凈室的建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上提出了一定的要求。